特殊用途専用のタイプ

■液面レベルセンサ(アンプ内蔵パイプ取りつけタイプ) EE-SPX613

出力動作切替機能と感度切替機能がついて使いやすくなった液面レベルセンサ

• 出力動作切替機能で、モード設定が自在

• 感度切替機能でφ6～13mm、肉厚1mmの透明、半透明パイプに対応

• クリーンコード（粉体はくり剤なし）を採用

• 電源電圧はDC12～24V

EE-SPX613の製品詳細はコチラ

■ウエハキャリア着座センサ EE-SPY801 / 802

ウエハキャリアの着座検知

• ガイドとの併用で着座位置を設定

• ウエハキャリアとの接触面は耐薬品性に優れたフッ素樹脂を使用

• 独自の光学系でほとんどのウエハキャリアで安定して検知

• 外乱光に強い変調光方式

• コードはクリーンコード（タルク粉なし）を使用

EE-SPY801 / 802製品詳細はコチラ

■FOUP着座センサ　押ボタンタイプ EE-SA701 / 801

押ボタン式の採用により、検出の難しかった物体を確実に検出可能

• 半導体FOUPカセットの規格に準拠し、底面の材質・色・反射率の影響を受けずに、FOUPカセットの着荷を確実に検出

• 薄型設計により、搬送アームなどにも搭載可能

• 4方向の表示灯により視認性を向上

• アクチュエータの動作を光学的に検出するため長寿命（機械的寿命500万回以上）

• NPN/PNP両出力タイプをラインナップ

• 屈曲性に優れたロボットコードタイプもラインナップ

EE-SA701 / 801製品詳細はコチラ