温度、圧力の影響が少なく、高精度で流量域の広い気体流量計測を可能とした流量センサと風量センサ

■MEMSフローセンサ　D6F-A7D / -AB71D
空気用、流量範囲 70L/min。デジタル補正により高精度化を実現

■MEMSフローセンサ　D6F-A1
空気用、流量範囲 1L/min,2L/min 小型・高性能で微流量を計測

■MEMSフローセンサ　D6F-N2 / -L2
都市ガス、LPガス用、流量範囲 5L/min 小型・高性能で微流量を計測

■MEMSフローセンサ　D6F-A3
空気用、流量範囲 3L/min 薄型・小型で高精度センシングを実現

■MEMSフローセンサ　D6F-A5
空気用、流量範囲 50L/min 高精度センシングを実現

■MEMSフローセンサ　D6F-A6 / -N6
都市ガス、空気用、流量範囲 50L/min 小型で高精度センシングを実現

■MEMSフローセンサ　D6F-A7 / -L7 / -N7
都市ガス、LPガス、空気用、流量範囲 30L/min 配管部のクイックファスナ化による配管工数削減に貢献

■MEMSフローセンサ　D6F-AB71
空気用、流量範囲　30L/min, 70L/min 配管部のクイックファスナ化による配管工数削減に貢献

■MEMSフローセンサ　D6F-P
空気用、バイパス設置により幅広い流量レンジに対応

■MEMS差圧センサ　D6F-PH
空気用、差圧範囲 ±50Pa/±500Pa/250Pa 小型、高精度、耐環境性に優れた差圧センサ

■MEMS風量センサ　D6F-W
空気用、小型・高精度で風量を計測。安定した温度特性

■MEMS風量センサ　D6F-V
空気用、小型・高精度で風量を計測

■MEMS 2軸フローセンサ　D6F-D
空気用、風速±1.0m/s 気流センシングにより省エネに貢献、空調制御を最適化

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